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广州海伦仪器仪表有限公司
主营：流量计系列,压力/液泣系列,气体质流量计 - 18024058101
广州海伦仪器仪表有限公司
主营：流量计系列,压力/液泣系列,气体质流量计
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、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品简介：
FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而 设计的。产品有两种测量范围，螺纹接口易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
二、FS8000系列微机电气体质量流量传感器产品特点:
传感器灵敏度高，有较小的始动流量
响应速度快
低压损
安装方便
三、FS8000系列微机电气体质量流量传感器技术参数：
项目 | FS8001 | FS8003 | 单位 |
流量范围 | (0~500) sccm | (0~6) SLPM | |
精度 | ±(2. 0+0. 5FS) | % | |
重复性 | ±1. 0 | % | |
零点输出漂移 | ±30 | mV | |
输出漂移 | ±0. 12 | % / ℃ | |
响应时间 | 10 | ms | |
工作电源 | 8~24 | VDC | |
输出方式 | 线性，模拟电压0.5~4.5VD C（可选IC 数字信号输出） | ||
Max工作压力 | 0.3 | MPa | |
工作温度 | 0 ~ +55 | ℃ | |
储存温度 | -20 ~ +65 | ℃ | |
工作湿度 | <95% RH （无结冰、无凝露） | ||
电气接口 | SM 05B-SRSS-TB (JST) | ||
机械接口 | M5螺孔 | Rc1/ 8(入口)/M 5螺孔(出口) | |
| 标准方式 | 空气（20℃，101.325kPa） | ||