MF5012/MF5019气体质量流量计

MF5003/MF5006/MF5008/MF5012/MF5019气体质量流量计
产品特点： 　 - 采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术,传感器的尺寸缩小到了微米量级,使该流量计的灵敏度大大提高。

 　 - 在单个芯片上实现了多传感器集成,使该流量计的量程比（范围度）大大提高。

 　 - 传感器零点稳定度较之传统热式质量流量计有较大的改善。

 　 - 结合二次仪表的微电脑智能技术,使流量计重复性好,实现了计量准确可靠。

 　 - 技术进步带来的结构简化,使流量计较之传统的机械式仪表,压力损失大幅度减小,较大地降低了能源消耗。

 　 - 采用LCD显示"瞬时流量"和"累计流量",清晰直观,读数方便。

 　 - 产品结合了电磁兼容设计技术,具有更高抗干扰能力。

 　 - 流量计带有RS485通讯模块,配合上位计算机网络可实现集中管理。

 　 - 可以选配4～20mA标准电流信号输出。

机械尺寸：



技术参数：

准确度 ±（1.5 0.2FS）% 
测量范围 0.01~65mc 

测量管径 1~19 mm 
使用环境 温度: -20~65
显 示 瞬时流量; 累计流量 
输出模式 4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脉冲
校准条件 20oC; 101.325 kPa.


机械尺寸：




型号 通径
（mm） 接口
（inch） L H W d a b c 
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50 
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50 
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50 
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50 
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70 

技术参数：

精确度           ±(1.5+0.2FS)% 
测量范围        0.01~65m/sec  
测量管径        1~19 mm     
使用环境         温度: -20~65
显  示             瞬时流量; 累计流量                   
输出模式        4~20mA; RS485; 脉冲
校准条件        20oC; 101.325 kPa.

 

产品选型：


型号 通径
(mm) 接口
(inch) 较大工作压力
(MPa) 测量范围 
sccm SLPM SCFM NCMH 
MF5003 3 1/8" 1.5 15-1500 0.15-15 
 
 
MF5006 6 1/4" 1.5 
 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5 
MF5008 8 3/8" 1.5 
 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5 
MF5012 12 1/2" 1.5 
 3-300 0.1-10 0.17-17 
MF5019 19 3/4" 1.5 
 8-800 0.28-28 0.48-48